電子顯微鏡類
EN- 更新日期：113-01-30
- 發布單位：儀器資源中心
[光復校區] 高解析度場發射掃描電子顯微鏡暨能量散佈分析儀 SEM S-4700I
- High-Resolution Scanning Electron Microscope & Energy Dispersive Spectrometer
- 英文簡稱：SEM S-4700I
- 廠牌型號：Hitachi, S-4700I
- 儀器專家：譚至善 教授
- 分機 54146
- 儀器操作技術員：范秀蘭 小姐
- 分機 55672、55337
- 儀器位置：電資大樓710室
儀器廠牌、型號、購置年限
廠牌： Hitachi
型號： S-4700I
購置年限： 1998年10月
重要規格
廠牌： Hitachi
型號： S-4700I
購置年限： 1998年10月
重要規格
- 電子源：冷陰極電子槍
- 操作電壓：0.5kV~30kV
- 試片尺寸：25mm diameter x 10mm(t)
- 解析度：15Å (at 15kV) or 25Å (at 1kV)
- 放大倍率50萬倍（依試片本身而定）
- 二次電子解析度1.5nm(15kV下)
服務項目
高倍率放大觀察元件、薄膜等微細結構或剖面結構。
開放時間
高倍率放大觀察元件、薄膜等微細結構或剖面結構。
開放時間
- 週一至週五：無限制
- 夜間及週六、日：無限制
系統開放等級 : A級
- 一般上班時段：未限制
- 夜間及假日時段： 未限制
系統開放等級說明
- A級：開放給需要使用之學生，經訓練考核後可自行操作。
- B級：每位教授指派一位學生申請訓練，該教授之其他學生需由接受訓練的學生代為操作，若有教授使用該儀器之學生過多者，可向儀器負責人申請增加接受訓練學生人數。
- C級：由儀器負責人選定教授推薦之學生若干人接受訓練，經考核後可自行操作儀器並得負責委託服務工作。
- D級：由本實驗室之技術人員接受委託服務，不開放使用。
| 委託操作 | 自行操作 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 收費標準 | 學術單位 (校外) | 學術單位 (交大) | 廠商及研究單位 | 學術單位(限交大通過考核者) | 廠商及研究單位 |
| 代工費 (NTD/3小時) | 900 | 900 | 900 | — | 不開放 |
| SEM (NTD/小時) | 1000 | 100 | 2000 | 100 | 不開放 |
| 樣品表面鍍膜 (NTD/分) | 500 | 500 | 800 | 500 | 不開放 |
| EDS | 故障停用 | 故障停用 | 故障停用 | 故障停用 | 故障停用 |
| 備註 |
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管理辦法及使用辦法
請依照遵循奈米中心管理辦法及使用辦法。
儀器訓練操作申請須知
請依照奈米中心儀器操作訓練申請流程相關辦法與規定申請。
請依照遵循奈米中心管理辦法及使用辦法。
儀器訓練操作申請須知
請依照奈米中心儀器操作訓練申請流程相關辦法與規定申請。
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