一般公告

  • 更新日期：115-09-14
  • 發布單位：儀器資源中心
【新儀器開放服務】本校奈米製程組新增「真空快速升溫退火系統」開放服務，歡迎預約使用
本校奈米製程設施「真空快速升溫退火系統」已上線開放服務。本儀器為可真空、具快速升/降溫、可多樣進氣RTA 系統，能進行短時間摻雜質活化、高品質超薄介電層(氧化、氮化)形成、缺陷修補、修飾二維材料和氧化物半導體薄膜性質，歡迎各界有需求之實驗室洽詢使用。
儀器諮詢與操作服務：倪小姐，(03)5712121#55669 (ycni@nycu.edu.tw)。
儀器介紹網頁：Link。
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