{"subject":"【奈米製程領域】光罩對準曝光機 (B) / SEMI003000","detailContent":"
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\"光罩對準曝光機
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奈米中心網頁介紹
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\r\n儀器資訊
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  1. 廠牌型號: 科毅科技AG1000-6N-ST
    2. \r\n\t
  2. 購置年限: 2019年11月 
    3. \r\n\t
  3. 放置地點: 光復校區 固態電子系統大樓 1樓137實驗室   (TEL：55616)
    4. \r\n\t
  4. 功能:各種元件之對準曝光
    5. \r\n\t
  5. 重要規格:\r\n\t
      \r\n\t\t
    1. (1).Mask holder：4″x4″ , 5″x5″
      2. \r\n\t\t
    2. (2).Chuck：4″
      3. \r\n\t\t
    3. (3).Exposure size：4″
      4. \r\n\t\t
    4. (4).Light source：1000W
      5. \r\n\t\t
    5. (5).汞燈光源：NUV
      6. \r\n\t
    \r\n\t
    6. \r\n\t
  6. 儀器可使用之特殊製程材料
    7. \r\n
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","page2Title":"注意事項","page2":"
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注意事項
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    \r\n\t
  1. 預約使用以一個小時為一時段。
    2. \r\n\t
  2. 具該項儀器設備使用者其製程預約時間每日最多一個時段，不得重複預約
    3. \r\n\t
  3. 預約取消：因突發狀況，導致無法於預約時段內操作該項儀器設備者，應以預約24小時之前取消預約登記，未取消者按原來時段計算收費，原時段得由儀器設備管理人員開放出來給其他使用 者操作使用之，而原預約使用者須接受處罰，其罰則另定之。
    4. \r\n\t
  4. 預約登記使用未準時到者，視同預約未取，其時段得由其他使用者使用之。
    5. \r\n\t
  5. 委託製作者，請先與儀器設備管理人員聯絡。
    6. \r\n
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","page3Title":"自行操作規定","page3":"
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自行操作儀器
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    \r\n\t
  1. 申請此機台需同時加考光阻塗佈機、真空烤箱、光學顯微鏡
    2. \r\n\t
  2. 取得儀器使用權限說明：\r\n\t\r\n\t
    3. \r\n\t
  3. 儀器開放等級及人數。
    4. \r\n\t
  4. 有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用：\r\n\t\r\n\t
    5. \r\n
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","page4Title":"委託操作規定","page4":"
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委託操作儀器
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    \r\n\t
  1. 若非標準矽晶圓或其他材必須區分正反面者，需在申請表上或晶片上標註正反面及註明欲進行製程的表面，未標明或不提供確認資訊者恕不收件。
    2. \r\n
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","page5Title":"收費標準","page5":"
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收費資訊
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    \r\n\t
  1. 有國科會計畫者依計畫付費標準計價，無國科會計畫者依非計畫付費標準計價。
    2. \r\n\t
  2. 只上光阻：每片 NTD $500( 4″ 與 破片 依樣收費 )。
    3. \r\n\t
  3. 代工需要對第二道時 ( 申請者須到場陪同,方便確認對準位置,避免爭議 )。
    4. \r\n\t
  4. 自行操作是以貴儀收費,委託代工會收取代工費與貴儀收費 (兩者)
    5. \r\n\t
  5. 收費方式\r\n\t
      \r\n\t\t
    1. 自行操作：收取使用費
      2. \r\n\t\t
    2. 委託操作：收取使用費+代工費
      3. \r\n\t
    \r\n\t
    6. \r\n\t
  6. 費用查詢連結
    7. \r\n
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