<![CDATA[【奈米製程領域】光罩對準曝光機 (B) / SEMI003000]]><![CDATA[<div class="ed_model05 clearfix">
<div class="ed_pic_right"><img alt="光罩對準曝光機 (B)" src="/userfiles/ordch/images/20231020155942810.jpg" /></div>
<ul>
<li class="ed_txt"><strong>Double Side M</strong>ask Aligner
<ul>
<li class="ed_txt">廠牌型號：科毅科技AG1000-6N-ST</li>
</ul>
</li>
<li class="ed_txt"><strong>儀器專家：蘇俊榮 教授</strong>
<ul>
<li class="ed_txt">分機 56150</li>
<li class="ed_txt">信箱 <a href="mailto:cjsu@nycu.edu.tw" title="cjsu@nycu.edu.tw">cjsu@nycu.edu.tw</a></li>
</ul>
</li>
<li class="ed_txt"><strong>儀器操作技術員：曾俊賢 先生</strong>
<ul>
<li class="ed_txt">分機 55606、55667</li>
<li class="ed_txt">信箱 <a href="mailto:mailto:c00465@nycu.edu.tw" title="c00465@nycu.edu.tw">c00465@nycu.edu.tw</a></li>
</ul>
</li>
<li class="ed_txt"><strong>儀器位置：光復校區 固態電子系統大樓 1樓137室</strong>
<ul>
<li class="ed_txt">分機 55616</li>
</ul>
</li>
</ul>
</div>]]>奈米製程領域儀器資源中心114-08-27儀器介紹<div class="ed_model01 clearfix">
<div class="ed_txt"><a href="https://nanofc.web.nycu.edu.tw/%e9%9b%99%e9%9d%a2%e5%85%89%e7%bd%a9%e5%b0%8d%e6%ba%96%e6%9b%9d%e5%85%89%e6%a9%9fb-double-side-mask-aligner-b/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="奈米中心網頁介紹(開啟新視窗)">奈米中心網頁介紹</a><br />
<br />
<strong>儀器資訊</strong></div>
<ol>
<li class="ed_txt">廠牌型號: 科毅科技AG1000-6N-ST</li>
<li class="ed_txt">購置年限: 2019年11月 </li>
<li class="ed_txt">放置地點: 光復校區 固態電子系統大樓 1樓137實驗室 (TEL：55616)</li>
<li class="ed_txt">功能:各種元件之對準曝光</li>
<li class="ed_txt">重要規格:
<ol>
<li class="ed_txt">(1).Mask holder：4″x4″ , 5″x5″</li>
<li class="ed_txt">(2).Chuck：4″</li>
<li class="ed_txt">(3).Exposure size：4″</li>
<li class="ed_txt">(4).Light source：1000W</li>
<li class="ed_txt">(5).汞燈光源：NUV</li>
</ol>
</li>
<li class="ed_txt">儀器可使用之<a href="/userfiles/ordch/files/20240611134752422.pdf" title="特殊製程材料(pdf)">特殊製程材料</a></li>
</ol>
</div>注意事項<div class="ed_model01 clearfix">
<div class="ed_txt"><strong>注意事項</strong></div>
<ol>
<li class="ed_txt">預約使用以一個小時為一時段。</li>
<li class="ed_txt">具該項儀器設備使用者其製程預約時間每日最多一個時段，不得重複預約</li>
<li class="ed_txt">預約取消：因突發狀況，導致無法於預約時段內操作該項儀器設備者，應以預約24小時之前取消預約登記，未取消者按原來時段計算收費，原時段得由儀器設備管理人員開放出來給其他使用 者操作使用之，而原預約使用者須接受處罰，其罰則另定之。</li>
<li class="ed_txt">預約登記使用未準時到者，視同預約未取，其時段得由其他使用者使用之。</li>
<li class="ed_txt">委託製作者，請先與儀器設備管理人員聯絡。</li>
</ol>
</div>自行操作規定<div class="ed_model01 clearfix">
<div class="ed_txt"><strong>自行操作儀器</strong></div>
<ol>
<li class="ed_txt">申請此機台需同時加考光<a href="https://nanofc.web.nycu.edu.tw/%e5%85%89%e9%98%bb%e5%a1%97%e4%bd%88%e6%a9%9fphoto-resist-spinner/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="阻塗佈機(開啟新視窗)">阻塗佈機</a>、<a href="https://nanofc.web.nycu.edu.tw/%e7%9c%9f%e7%a9%ba%e7%83%a4%e7%ae%b1vacuum-oven/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="真空烤箱(開啟新視窗)">真空烤箱</a>、<a href="https://nanofc.web.nycu.edu.tw/%e5%85%89%e5%ad%b8%e9%a1%af%e5%be%ae%e9%8f%a1optical-microscope/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="光學顯微鏡(開啟新視窗)">光學顯微鏡</a></li>
<li class="ed_txt">取得儀器使用權限說明：
<ul>
<li class="ed_txt"><a href="https://nanofc.web.nycu.edu.tw/%e5%a5%88%e7%b1%b3%e4%b8%ad%e5%bf%83%e7%94%b3%e8%ab%8b%e6%b5%81%e7%a8%8b/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="白天權限申請流程說明(開啟新視窗)">白天權限申請流程說明</a> (使用權限為星期一至五8:00~17:00)</li>
<li class="ed_txt"><a href="https://nanofc.web.nycu.edu.tw/24%e5%b0%8f%e6%99%82%e5%90%ab%e5%81%87%e6%97%a5%e9%96%80%e7%a6%81%e5%8f%8a%e8%a8%ad%e5%82%99%e6%ac%8a%e9%99%90%e7%94%b3%e8%ab%8b%e6%b5%81%e7%a8%8b/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="24小時申請流程說明(開啟新視窗)">24小時申請流程說明</a> (需有白天權限才可申請)</li>
<li class="ed_txt"><a href="https://nanofc.web.nycu.edu.tw/%e5%84%80%e5%99%a8%e7%94%b3%e8%ab%8b%e6%b3%a8%e6%84%8f%e4%ba%8b%e9%a0%85/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="注意事項(開啟新視窗)">注意事項</a> (務必詳讀，以免損失自身權益)</li>
<li class="ed_txt">雙面光罩對準曝光機<a href="/userfiles/ordch/files/20240611144341098.pdf" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="操作規範(pdf)(開啟新視窗)">操作規範</a>&<a href="/userfiles/ordch/files/20240611144359790.pdf" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="考核記錄表(pdf)(開啟新視窗)">考核記錄表</a>&<a href="/userfiles/ordch/images/20240611144438846.jpg" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="Aligner key 建議位置圖(jpg)(開啟新視窗)">Aligner key 建議位置圖</a></li>
</ul>
</li>
<li class="ed_txt"><a href="https://nanofc.web.nycu.edu.tw/%e5%84%80%e5%99%a8%e9%96%8b%e6%94%be%e7%ad%89%e7%b4%9a%e3%80%81%e4%ba%ba%e6%95%b8%e3%80%81%e8%a8%93%e7%b7%b4%e6%ac%a1%e6%95%b8open-level-open-people-training-times/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="儀器開放等級及人數(開啟新視窗)">儀器開放等級及人數</a>。</li>
<li class="ed_txt">有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用：
<ul>
<li class="ed_txt"><a href="https://vir.nstc.gov.tw/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統(開啟新視窗)">國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統</a> (取得序號)</li>
<li class="ed_txt"><a href="https://nfcmachin.ece.nycu.edu.tw/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="奈米中心儀器預約系統(開啟新視窗)">奈米中心儀器預約系統</a> (使用時段預約)</li>
</ul>
</li>
</ol>
</div>委託操作規定<div class="ed_model01 clearfix">
<div class="ed_txt"><strong>委託操作儀器</strong></div>
<ol>
<li class="ed_txt">若非標準矽晶圓或其他材必須區分正反面者，需在申請表上或晶片上標註正反面及註明欲進行製程的表面，未標明或不提供確認資訊者恕不收件。</li>
</ol>
<ul>
<li class="ed_txt">有國科會計畫者，請先至<a href="https://vir.nstc.gov.tw/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統(開啟新視窗)">國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統</a>預約並取得預約編號，再下載<a href="/userfiles/ordch/files/20240611144503828.odt" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="雙面光罩對準曝光機委託代工申請單(odt)(開啟新視窗)">雙面光罩對準曝光機委託代工申請單</a>，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。</li>
<li class="ed_txt">無國科會計畫者，請直接下載<a href="/userfiles/ordch/files/20240611144503828.odt" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="雙面光罩對準曝光機委託代工申請單(odt)(開啟新視窗)">雙面光罩對準曝光機委託代工申請單</a>，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。</li>
</ul>
</div>收費標準<div class="ed_model01 clearfix">
<div class="ed_txt"><strong>收費資訊</strong></div>
<ol>
<li class="ed_txt"><span style="color:#ff0000;">有國科會計畫者依計畫付費標準計價，無國科會計畫者依非計畫付費標準計價。</span></li>
<li class="ed_txt">只上光阻：每片 NTD $500( 4″ 與 破片 依樣收費 )。</li>
<li class="ed_txt">代工需要對第二道時 ( 申請者須到場陪同,方便確認對準位置,避免爭議 )。</li>
<li class="ed_txt">自行操作是以貴儀收費,委託代工會收取代工費與貴儀收費 (兩者)</li>
<li class="ed_txt">收費方式
<ol>
<li class="ed_txt">自行操作：<span style="color:#ff0000;">收取使用費</span></li>
<li class="ed_txt">委託操作：<span style="color:#ff0000;">收取使用費</span>+代工費</li>
</ol>
</li>
<li class="ed_txt"><a href="https://vir.nstc.gov.tw/VI_SearchResult?item=1" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="費用查詢連結(開啟新視窗)">費用查詢連結</a></li>
</ol>
</div>https://www.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/image?module=corefacilities&detailNo=1164849855453990912&init=Y光罩對準曝光機 (B)https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/list?module=corefacilities&id=1721儀器列表https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/list?module=corefacilities&id=1728奈米製程領域儀器https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/view?module=corefacilities&id=1721&serno=76efeed0-9e54-4920-9104-44f4a97af8cc光罩對準曝光機 (A)