{"subject":"【奈米製程領域】光罩製作系統(DWL-200) / SEMI002703","detailContent":"<div class=\"ed_model05 clearfix\">\r\n<div class=\"ed_pic_right\"><img alt=\"光罩製作系統\" src=\"/userfiles/ordch/images/20231020152755202.jpg\" /></div>\r\n\r\n<ul>\r\n\t<li class=\"ed_txt\"><strong><a href=\"https://nanofc.web.nycu.edu.tw/%e5%85%89%e7%bd%a9%e8%a3%bd%e4%bd%9c%e7%b3%bb%e7%b5%b1-laser-pattern-generator-dwl-200/\" rel=\"noreferrer noopener\" target=\"_blank\" title=\"LASER PATTERN GENERATOR(開啟新視窗)\">LASER PATTERN GENERATOR</a></strong>\r\n\r\n\t<ul>\r\n\t\t<li class=\"ed_txt\">廠牌型號：HIMT DWL-200</li>\r\n\t</ul>\r\n\t</li>\r\n\t<li class=\"ed_txt\"><strong>儀器專家：李佩雯 教授</strong>\r\n\t<ul>\r\n\t\t<li class=\"ed_txt\">03-5712121分機 54210</li>\r\n\t</ul>\r\n\t</li>\r\n\t<li class=\"ed_txt\"><strong>儀器諮詢與操作服務：蔡慶祥 先生、柯明毅 先生</strong>\r\n\t<ul>\r\n\t\t<li class=\"ed_txt\">柯明毅 先生 (03-5712121分機 55659、55667)</li>\r\n\t\t<li class=\"ed_txt\">信箱&nbsp;<a href=\"mailto:mailto:mingyi@nycu.edu.tw\" title=\"mingyi@nycu.edu.tw\">mingyi@nycu.edu.tw</a></li>\r\n\t\t<li class=\"ed_txt\">蔡慶祥 先生 (03-5712121分機 55605、55616)</li>\r\n\t\t<li class=\"ed_txt\">信箱&nbsp;<a href=\"mailto:ch-tsai@nycu.edu.tw\" title=\"ch-tsai@nycu.edu.tw\">ch-tsai@nycu.edu.tw</a></li>\r\n\t</ul>\r\n\t</li>\r\n\t<li class=\"ed_txt\"><strong>儀器位置：光復校區 固態電子系統大樓139室</strong></li>\r\n</ul>\r\n</div>","dataClassName":"奈米製程領域","pubUnitName":"儀器資源中心","posterDate":null,"updateDate":"115-04-23","liaisonper":null,"liaisontel":null,"liaisonfax":null,"liaisonemail":null,"languageurl":null,"page1Title":"儀器介紹","page1":"<div class=\"ed_model01 clearfix\">\r\n<div class=\"ed_txt\"><a href=\"https://nanofc.web.nycu.edu.tw/%e5%85%89%e7%bd%a9%e8%a3%bd%e4%bd%9c%e7%b3%bb%e7%b5%b1-laser-pattern-generator-dwl-200/\" rel=\"noreferrer noopener\" target=\"_blank\" title=\"奈米中心介紹頁連結(開啟新視窗)\">奈米中心介紹頁連結</a><br />\r\n<br />\r\n<strong>儀器資訊</strong></div>\r\n\r\n<ol>\r\n\t<li class=\"ed_txt\">廠牌型號：HIMT DWL-200</li>\r\n\t<li class=\"ed_txt\">購置年限：2007年4月</li>\r\n\t<li class=\"ed_txt\">放置地點：光復校區 固態電子系統大樓&nbsp;10級R 139實驗室&nbsp;&nbsp; (TEL：55616)&nbsp;</li>\r\n\t<li class=\"ed_txt\">功能：玻璃光罩之製造(4&rdquo;、5&rdquo;及6&rdquo;)， 5吋石英光罩(電洽)</li>\r\n\t<li class=\"ed_txt\">重要規格：\r\n\t<ul>\r\n\t\t<li class=\"ed_txt\">(1).雷射光源442nm(g-line) Helium _Cadmium LASER Power 125mW</li>\r\n\t\t<li class=\"ed_txt\">(2).Minimum feature size is .80um</li>\r\n\t\t<li class=\"ed_txt\">(3).最大有效區域 200mm x 200mmdeposition)</li>\r\n\t\t<li class=\"ed_txt\">(4).GDSII&nbsp;&nbsp;&nbsp;及 Auto CAD 之&nbsp;*.&nbsp;dxf&nbsp;檔</li>\r\n\t\t<li class=\"ed_txt\">(5).Dual CCD camera alignment system</li>\r\n\t</ul>\r\n\t</li>\r\n\t<li class=\"ed_txt\">儀器可使用之<a href=\"/userfiles/ordch/files/20240611134752422.pdf\" title=\"特殊製程材料(pdf)\">特殊製程材料</a>。</li>\r\n</ol>\r\n</div>","page2Title":"注意事項","page2":"<div class=\"ed_model17 clearfix ed_list\">\r\n<ul>\r\n\t<li class=\"d-flex\"><span style=\"vertical-align: inherit;\"><span style=\"vertical-align: inherit;\">光罩製作說明</span> </span>\r\n\t<ul class=\"d-flex\">\r\n\t\t<li><a href=\"/userfiles/ordch/files/20240611180845653.pdf\" target=\"_blank\" title=\"光罩製作說明(開啟新視窗)\"><img alt=\"光罩製作說明\" src=\"/userfiles/ordch/images/20240611180738838.png\" /></a></li>\r\n\t</ul>\r\n\t</li>\r\n</ul>\r\n</div>","page3Title":"服務項目","page3":"<div class=\"ed_model01 clearfix\">\r\n<div class=\"ed_txt\"><strong>委託操作儀器</strong></div>\r\n\r\n<ol>\r\n\t<li class=\"ed_txt\">有國科會計畫者，請先至<a href=\"https://vir.nstc.gov.tw/\" rel=\"noreferrer noopener\" target=\"_blank\" title=\"國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統(開啟新視窗)\">國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統</a>預約並取得預約編號，再下載<a href=\"/userfiles/ordch/files/20240611142552390.odt\" rel=\"noreferrer noopener\" target=\"_blank\" title=\"DWL-200委託代工申請單(odt)(開啟新視窗)\">DWL-200委託代工申請單</a>，將填寫好之申請單及材料送至本中心（本校固態電子系統大樓2F）給各儀器管理人員協助排程代工。</li>\r\n\t<li class=\"ed_txt\">無國科會計畫者，請直接下載<a href=\"/userfiles/ordch/files/20240611142552390.odt\" rel=\"noreferrer noopener\" target=\"_blank\" title=\"DWL-200委託代工申請單(odt)(開啟新視窗)\">DWL-200委託代工申請單</a>，將填寫好之申請單及材料送至本中心（本校固態電子系統大樓2F）給各儀器管理人員協助排程代工。</li>\r\n</ol>\r\n</div>","page4Title":"收費標準","page4":"<div class=\"ed_model01 clearfix\">\r\n<div class=\"ed_txt\"><strong>收費資訊</strong></div>\r\n\r\n<ol>\r\n\t<li class=\"ed_txt\"><span style=\"color:#ff0000;\">有國科會計畫者依計畫付費標準計價，無國科會計畫者依非計畫付費標準計價。</span></li>\r\n\t<li class=\"ed_txt\"><a href=\"https://vir.nstc.gov.tw/VI_SearchResult?item=1\" rel=\"noreferrer noopener\" target=\"_blank\" title=\"費用查詢連結(開啟新視窗)\">費用查詢連結</a></li>\r\n</ol>\r\n</div>","page5Title":null,"page5":null,"page6Title":null,"page6":null,"page7Title":null,"page7":null,"page8Title":null,"page8":null,"docs":[],"images":[{"fileurl":"https://www.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/image?module=corefacilities&detailNo=1164828994219020288&init=Y","expFile":"光罩製作系統（圖形產生系統）"}],"videos":[],"audios":[],"resources":[{"relateURL":"https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/list?module=corefacilities&id=1721","relateName":"儀器列表"},{"relateURL":"https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/list?module=corefacilities&id=1728&page=0&pageSize=15","relateName":"奈米製程領域儀器"},{"relateURL":"https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/view?module=corefacilities&id=1721&serno=d26fb9c8-bbca-4ab3-9784-71b9b4f03b69","relateName":"圖形產生系統"}]}