<![CDATA[【奈米製程領域】光罩製作系統(DWL-200) / SEMI002703]]><![CDATA[<div class="ed_model05 clearfix"> <div class="ed_pic_right"><img alt="光罩製作系統" src="/userfiles/ordch/images/20231020152755202.jpg" /></div> <ul> <li class="ed_txt"><strong><a href="https://nanofc.web.nycu.edu.tw/%e5%85%89%e7%bd%a9%e8%a3%bd%e4%bd%9c%e7%b3%bb%e7%b5%b1-laser-pattern-generator-dwl-200/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="LASER PATTERN GENERATOR(開啟新視窗)">LASER PATTERN GENERATOR</a></strong> <ul> <li class="ed_txt">廠牌型號：HIMT DWL-200</li> </ul> </li> <li class="ed_txt"><strong>儀器專家：李佩雯教授</strong> <ul> <li class="ed_txt">03-5712121分機 54210</li> </ul> </li> <li class="ed_txt"><strong>儀器諮詢與操作服務：蔡慶祥先生、柯明毅先生</strong> <ul> <li class="ed_txt">柯明毅先生 (03-5712121分機 55659、55667)</li> <li class="ed_txt">信箱 <a href="mailto:mailto:mingyi@nycu.edu.tw" title="mingyi@nycu.edu.tw">mingyi@nycu.edu.tw</a></li> <li class="ed_txt">蔡慶祥先生 (03-5712121分機 55605、55616)</li> <li class="ed_txt">信箱 <a href="mailto:ch-tsai@nycu.edu.tw" title="ch-tsai@nycu.edu.tw">ch-tsai@nycu.edu.tw</a></li> </ul> </li> <li class="ed_txt"><strong>儀器位置：光復校區固態電子系統大樓139室</strong></li> </ul> </div>]]>奈米製程領域儀器資源中心115-04-23儀器介紹<div class="ed_model01 clearfix"> <div class="ed_txt"><a href="https://nanofc.web.nycu.edu.tw/%e5%85%89%e7%bd%a9%e8%a3%bd%e4%bd%9c%e7%b3%bb%e7%b5%b1-laser-pattern-generator-dwl-200/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="奈米中心介紹頁連結(開啟新視窗)">奈米中心介紹頁連結</a><br /> <br /> <strong>儀器資訊</strong></div> <ol> <li class="ed_txt">廠牌型號：HIMT DWL-200</li> <li class="ed_txt">購置年限：2007年4月</li> <li class="ed_txt">放置地點：光復校區固態電子系統大樓 10級R 139實驗室   (TEL：55616) </li> <li class="ed_txt">功能：玻璃光罩之製造(4”、5”及6”)， 5吋石英光罩(電洽)</li> <li class="ed_txt">重要規格： <ul> <li class="ed_txt">(1).雷射光源442nm(g-line) Helium _Cadmium LASER Power 125mW</li> <li class="ed_txt">(2).Minimum feature size is .80um</li> <li class="ed_txt">(3).最大有效區域 200mm x 200mmdeposition)</li> <li class="ed_txt">(4).GDSII   及 Auto CAD 之 *. dxf 檔</li> <li class="ed_txt">(5).Dual CCD camera alignment system</li> </ul> </li> <li class="ed_txt">儀器可使用之<a href="/userfiles/ordch/files/20240611134752422.pdf" title="特殊製程材料(pdf)">特殊製程材料</a>。</li> </ol> </div>注意事項<div class="ed_model17 clearfix ed_list"> <ul> <li class="d-flex"><span style="vertical-align: inherit;"><span style="vertical-align: inherit;">光罩製作說明</span> </span> <ul class="d-flex"> <li><a href="/userfiles/ordch/files/20240611180845653.pdf" target="_blank" title="光罩製作說明(開啟新視窗)"><img alt="光罩製作說明" src="/userfiles/ordch/images/20240611180738838.png" /></a></li> </ul> </li> </ul> </div>服務項目<div class="ed_model01 clearfix"> <div class="ed_txt"><strong>委託操作儀器</strong></div> <ol> <li class="ed_txt">有國科會計畫者，請先至<a href="https://vir.nstc.gov.tw/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統(開啟新視窗)">國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統</a>預約並取得預約編號，再下載<a href="/userfiles/ordch/files/20240611142552390.odt" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="DWL-200委託代工申請單(odt)(開啟新視窗)">DWL-200委託代工申請單</a>，將填寫好之申請單及材料送至本中心（本校固態電子系統大樓2F）給各儀器管理人員協助排程代工。</li> <li class="ed_txt">無國科會計畫者，請直接下載<a href="/userfiles/ordch/files/20240611142552390.odt" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="DWL-200委託代工申請單(odt)(開啟新視窗)">DWL-200委託代工申請單</a>，將填寫好之申請單及材料送至本中心（本校固態電子系統大樓2F）給各儀器管理人員協助排程代工。</li> </ol> </div>收費標準<div class="ed_model01 clearfix"> <div class="ed_txt"><strong>收費資訊</strong></div> <ol> <li class="ed_txt"><span style="color:#ff0000;">有國科會計畫者依計畫付費標準計價，無國科會計畫者依非計畫付費標準計價。</span></li> <li class="ed_txt"><a href="https://vir.nstc.gov.tw/VI_SearchResult?item=1" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="費用查詢連結(開啟新視窗)">費用查詢連結</a></li> </ol> </div>https://www.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/image?module=corefacilities&detailNo=1164828994219020288&init=Y光罩製作系統（圖形產生系統）https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/list?module=corefacilities&id=1721儀器列表https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/list?module=corefacilities&id=1728&page=0&pageSize=15奈米製程領域儀器https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/view?module=corefacilities&id=1721&serno=d26fb9c8-bbca-4ab3-9784-71b9b4f03b69圖形產生系統