<![CDATA[【奈米製程領域】冷場發射掃描式電子顯微鏡暨能量散佈分析儀器 / EM023600]]><![CDATA[<div class="ed_model05 clearfix">
<div class="ed_pic_right"><img alt="冷場發射掃描式電子顯微鏡暨能量散佈分析儀器" src="/userfiles/ordch/images/20231019160324194.jpg" /></div>
<ul>
<li class="ed_txt"><a href="https://nanofc.web.nycu.edu.tw/%e5%86%b7%e5%a0%b4%e7%99%bc%e5%b0%84%e6%8e%83%e6%8f%8f%e5%bc%8f%e9%9b%bb%e5%ad%90%e9%a1%af%e5%be%ae%e9%8f%a1%e6%9a%a8%e8%83%bd%e9%87%8f%e6%95%a3%e4%bd%88%e5%88%86%e6%9e%90%e5%84%80%e5%99%a8-sem-su-80/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="SEM SU-8010(開啟新視窗)"><strong>SEM SU-8010</strong></a>
<ul>
<li class="ed_txt">廠牌型號：Hitachi SU-8010</li>
</ul>
</li>
<li class="ed_txt"><strong>儀器專家：譚至善 教授</strong>
<ul>
<li class="ed_txt">分機 54146</li>
</ul>
</li>
<li class="ed_txt"><strong>儀器諮詢與操作服務：范秀蘭 小姐</strong>
<ul>
<li class="ed_txt">分機 55337、55672</li>
<li class="ed_txt">信箱 <a href="mailto:shiulan@nycu.edu.tw" title="shiulan@nycu.edu.tw">shiulan@nycu.edu.tw</a></li>
</ul>
</li>
<li class="ed_txt"><strong>儀器位置：光復校區 工程六館2樓212室實驗室</strong>
<ul>
<li class="ed_txt">分機 55337</li>
</ul>
</li>
</ul>
</div>]]>奈米製程領域儀器資源中心114-08-27儀器介紹<div class="ed_model01 clearfix">
<div class="ed_txt"><a href="https://nanofc.web.nycu.edu.tw/%e5%86%b7%e5%a0%b4%e7%99%bc%e5%b0%84%e6%8e%83%e6%8f%8f%e5%bc%8f%e9%9b%bb%e5%ad%90%e9%a1%af%e5%be%ae%e9%8f%a1%e6%9a%a8%e8%83%bd%e9%87%8f%e6%95%a3%e4%bd%88%e5%88%86%e6%9e%90%e5%84%80%e5%99%a8-sem-su-80/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="奈米中心介紹頁連結(開啟新視窗)">奈米中心介紹頁連結</a><br />
<br />
<strong>儀器資訊</strong></div>
<ol>
<li class="ed_txt">廠牌型號：Hitachi SU-8010</li>
<li class="ed_txt">購置年限：2013年10月</li>
<li class="ed_txt">放置地點：光復校區 工程六館2樓212室實驗室 (TEL：55337) </li>
<li class="ed_txt">功能：
<ol>
<li class="ed_txt">電子顯微鏡觀察(SEM)：高倍率放大觀察元件、薄膜等微細結構或剖面結構</li>
<li class="ed_txt">表面能階分析(EDS)：特定位置表面材料成分電子能階光譜分析，用以判斷表面材料或污染的組成</li>
<li class="ed_txt">試片前處理：新購置離子研磨機，具有剖面研磨&表面研磨功能，協助讓試片表面更平整，便於SEM觀察</li>
</ol>
</li>
<li class="ed_txt">重要規格：
<ol>
<li class="ed_txt">電子源：冷陰極電子槍</li>
<li class="ed_txt">操作電壓：0.1kV~30kV</li>
<li class="ed_txt">試片尺寸：50mm diameter x 50mm diameter</li>
<li class="ed_txt">解析度：10A° (at 15kV) or 13A° (at 1kV)</li>
<li class="ed_txt">放大倍率20倍~80萬倍(依試片本身而定)</li>
<li class="ed_txt">二次電子解析度1.0nm(15kV下)</li>
<li class="ed_txt">EDS可提供全能譜定性分析（Be4~U92）、半定量分析及元素分佈圖</li>
<li class="ed_txt">離子研磨機使用氣體:氬氣(Ar)</li>
<li class="ed_txt">剖面研磨範圍X:≥7mm Y: ≥3mm</li>
<li class="ed_txt">表面研磨速度：0°：≥2μm/hr 60°：≥20μm/hr</li>
</ol>
</li>
<li class="ed_txt">儀器可使用之<a href="/userfiles/ordch/files/20240611134752422.pdf" title="特殊製程材料(pdf)">特殊製程材料</a></li>
</ol>
</div>注意事項<div class="ed_model01 clearfix">
<div class="ed_txt"><strong>SEM限制使用之材料</strong></div>
<ol>
<li class="ed_txt">磁性材料（含鐵、鈷、鎳成分）</li>
<li class="ed_txt">有機物、高分子、粉末等材料</li>
<li class="ed_txt">所有在電子束照射下會分解或釋出高揮發性物質或氣體之材料</li>
</ol>
</div>自行操作規定<div class="ed_model01 clearfix">
<div class="ed_txt"><strong>自行操作儀器</strong></div>
<ol>
<li class="ed_txt">取得儀器使用權限說明:
<ol>
<li class="ed_txt"><a href="https://nanofc.web.nycu.edu.tw/%e5%a5%88%e7%b1%b3%e4%b8%ad%e5%bf%83%e7%94%b3%e8%ab%8b%e6%b5%81%e7%a8%8b/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="白天權限申請流程說明(開啟新視窗)">白天權限申請流程說明</a> (使用權限為星期一至五8:00~17:00)</li>
<li class="ed_txt"><a href="https://nanofc.web.nycu.edu.tw/24%e5%b0%8f%e6%99%82%e5%90%ab%e5%81%87%e6%97%a5%e9%96%80%e7%a6%81%e5%8f%8a%e8%a8%ad%e5%82%99%e6%ac%8a%e9%99%90%e7%94%b3%e8%ab%8b%e6%b5%81%e7%a8%8b/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="24小時申請流程說明(開啟新視窗)">24小時申請流程說明</a> (需有白天權限才可申請)</li>
<li class="ed_txt"><a href="https://nanofc.web.nycu.edu.tw/%e5%84%80%e5%99%a8%e7%94%b3%e8%ab%8b%e6%b3%a8%e6%84%8f%e4%ba%8b%e9%a0%85/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="注意事項(開啟新視窗)">注意事項</a> (務必詳讀，以免損失自身權益)</li>
<li class="ed_txt">SEM8010儀器<a href="/userfiles/ordch/files/20240611152114837.pdf" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="操作規範(pdf)(開啟新視窗)">操作規範</a>&<a href="/userfiles/ordch/files/20240611152126238.pdf" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="考核記錄表(pdf)(開啟新視窗)">考核記錄表</a></li>
</ol>
</li>
<li class="ed_txt"><a href="https://nanofc.web.nycu.edu.tw/%e5%84%80%e5%99%a8%e9%96%8b%e6%94%be%e7%ad%89%e7%b4%9a%e3%80%81%e4%ba%ba%e6%95%b8%e3%80%81%e8%a8%93%e7%b7%b4%e6%ac%a1%e6%95%b8open-level-open-people-training-times/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="儀器開放等級及人數(開啟新視窗)">儀器開放等級及人數</a></li>
<li class="ed_txt">有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用:
<ol>
<li class="ed_txt"><a href="https://vir.nstc.gov.tw/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統 (開啟新視窗)">國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統 </a>(取得序號)</li>
<li class="ed_txt"><a href="https://nfcmachin.ece.nycu.edu.tw/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="奈米中心儀器預約系統(開啟新視窗)">奈米中心儀器預約系統</a> (使用時段預約)</li>
</ol>
</li>
</ol>
</div>委託操作規定<div class="ed_model01 clearfix">
<div class="ed_txt"><strong>委託操作儀器</strong></div>
<ol>
<li class="ed_txt">有國科會計畫者，請先至<a href="https://vir.nstc.gov.tw/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統(開啟新視窗)">國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統</a>預約並取得預約編號，再下載<a href="/userfiles/ordch/files/20240611152139180.odt" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="SEM8010委託代工申請單(odt)(開啟新視窗)">SEM8010委託代工申請單</a>，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。</li>
<li class="ed_txt">無國科會計畫者，請直接下載<a href="/userfiles/ordch/files/20240611152139180.odt" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="SEM8010委託代工申請單(odt)(開啟新視窗)">SEM8010委託代工申請單</a>，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。</li>
</ol>
</div>收費標準<div class="ed_model01 clearfix">
<div class="ed_txt"><strong>收費資訊</strong></div>
<ol>
<li class="ed_txt"><span style="color:#ff0000;">有國科會計畫者依計畫付費標準計價，無國科會計畫者依非計畫付費標準計價。</span></li>
<li class="ed_txt">請自備導電膠帶或熱感紙 (規格為K65HM)。</li>
<li class="ed_txt">收費方式
<ol>
<li class="ed_txt">自行操作：收取開機費 (樣品表面鍍膜/EDS另計)</li>
<li class="ed_txt">委託操作：收取開機費+代工費 (樣品表面鍍膜/EDS另計)</li>
</ol>
</li>
<li class="ed_txt"><a href="https://vir.nstc.gov.tw/VI_SearchResult?item=1" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="費用查詢連結(開啟新視窗)">費用查詢連結</a></li>
</ol>
</div>https://www.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/image?module=corefacilities&detailNo=1164476973863407616&init=Y冷場發射掃描式電子顯微鏡暨能量散佈分析儀器https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/list?module=corefacilities&id=1721儀器列表https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/list?module=corefacilities&id=1728奈米製程領域儀器