氣相沉積類
EN- 更新日期：113-05-22
- 發布單位：儀器資源中心
[光復校區] 分子束磊晶系統 MBE System
- Molecular beam epitaxy system
- 英文簡稱：MBE System
- 廠牌：美國, SVT Associates
- 型號：Model 35-V-2
- 儀器專家：周武清 教授
- 分機 56129
- 儀器操作技術員：王泓鈞 同學
- 分機 56182
- 儀器位置：科三館 657室
儀器廠牌、型號、購置年限
廠牌：美國, SVT Associates
型號：Model 35-V-2
購置年限：99.08.06
重要規格
廠牌：美國, SVT Associates
型號：Model 35-V-2
購置年限：99.08.06
重要規格
- 可使用晶圓尺寸：破片至2吋。
- 原、離子源：Zn, Cd, Mg, Se, Te, Mn, Cr, O2, N2, ZnCl2
服務項目
二六族化合物半導體磊晶成長。
開放時間
二六族化合物半導體磊晶成長。
開放時間
- 週一至週五: 上午08:30-17:00。
- 聯絡人
- 儀器專家：周武清 教授 分機56129
- 儀器操作技術員：王泓鈞 同學 分機56182
- 儀器放置地點：科三館657室
系統開放等級
- 一般上班時段：D級
- 夜間及假日時段：不開放
系統開放等級說明
- A級：開放給需要使用之學生，經訓練考核後可自行操作。
- B級：每位教授指派一位學生申請訓練，該教授之其他學生需由接受訓練的學生代為操作，若有教授使用該儀器之學生過多者，可向儀器負責人申請增加接受訓練學生人數。
- C級：由儀器負責人選定教授推薦之學生若干人接受訓練，經考核後可自行操作儀器並得負責委託服務工作。
- D級：由本實驗室之技術人員接受委託服務，不開放使用。
| 收費標準 | 委託操作 | 委託操作 |
|---|---|---|
| 學術單位 | 廠商及研究單位 | |
| (1/4)片2” | NT$5,000 | NT$8,000 |
| 1片2” | NT$7,000 | NT$11,000 |
備註：學術單位指各大專院校。
管理辦法及使用辦法：
由本實驗室之技術人員接收委託服務
儀器操作預約：
採取時段預約，請於實驗前以校內分機56182，與儀器操作員確認實驗條件與樣品製備。
由本實驗室之技術人員接收委託服務
儀器操作預約：
採取時段預約，請於實驗前以校內分機56182，與儀器操作員確認實驗條件與樣品製備。
相關圖片：
