儀器列表
EN奈米製程領域
- 更新日期：113-06-12
- 發布單位：儀器資源中心
【奈米製程領域】冷場發射掃描式電子顯微鏡暨能量散佈分析儀器
- SEM SU-8010
- 廠牌型號：Hitachi SU-8010
- 儀器專家：譚至善 教授
- 分機 54146
- 儀器諮詢與操作服務：范秀蘭 小姐
- 分機 55337、55672
- 信箱 shiulan@nycu.edu.tw
- 儀器位置：光復校區 工程六館2樓212室實驗室
- 分機 55337
- 廠牌型號：Hitachi SU-8010
- 購置年限：2013年10月
- 放置地點：光復校區 工程六館2樓212室實驗室 (TEL：55337)
- 功能：
- 電子顯微鏡觀察(SEM)：高倍率放大觀察元件、薄膜等微細結構或剖面結構
- 表面能階分析(EDS)：特定位置表面材料成分電子能階光譜分析，用以判斷表面材料或污染的組成
- 試片前處理：新購置離子研磨機，具有剖面研磨&表面研磨功能，協助讓試片表面更平整，便於SEM觀察
- 重要規格：
- 電子源：冷陰極電子槍
- 操作電壓：0.1kV~30kV
- 試片尺寸：50mm diameter x 50mm diameter
- 解析度：10A° (at 15kV) or 13A° (at 1kV)
- 放大倍率20倍~80萬倍(依試片本身而定)
- 二次電子解析度1.0nm(15kV下)
- EDS可提供全能譜定性分析（Be4~U92）、半定量分析及元素分佈圖
- 離子研磨機使用氣體:氬氣(Ar)
- 剖面研磨範圍X:≥7mm Y: ≥3mm
- 表面研磨速度：0°：≥2μm/hr 60°：≥20μm/hr
- 儀器可使用之特殊製程材料
SEM限制使用之材料
- 磁性材料（含鐵、鈷、鎳成分）
- 有機物、高分子、粉末等材料
- 所有在電子束照射下會分解或釋出高揮發性物質或氣體之材料
自行操作儀器
- 取得儀器使用權限說明:
- 白天權限申請流程說明 (使用權限為星期一至五8:00~17:00)
- 24小時申請流程說明 (需有白天權限才可申請)
- 注意事項 (務必詳讀，以免損失自身權益)
- SEM8010儀器操作規範&考核記錄表
- 儀器開放等級及人數
- 有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用:
- 國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統 (取得序號)
- 奈米中心儀器預約系統 (使用時段預約)
委託操作儀器
- 有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號，再下載SEM8010委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
- 無國科會計畫者，請直接下載SEM8010委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
收費資訊
- 有國科會計畫者依計畫付費標準計價，無國科會計畫者依非計畫付費標準計價。
- 請自備導電膠帶或熱感紙 (規格為K65HM)。
- 收費方式
- 自行操作：收取開機費 (樣品表面鍍膜/EDS另計)
- 委託操作：收取開機費+代工費 (樣品表面鍍膜/EDS另計)
- 費用查詢連結
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